302024.12
投资案例15| 新美光
企业简介
新美光(苏州)半导体科技有限公司(以下简称“新美光”)成立于2013年,由中科院苏州纳米所加工平台和中科院育成中心孵化成立。作为一家专注于研发先进半导体材料的科技公司,新美光致力于半导体核心零部件单晶硅部件和碳化硅部件的研发和产业化,围绕等离子刻蚀先进制程打造核心零部件的生态链,成为一家核心零部件平台型企业。
具备优势
新美光的单晶硅棒采用MCZ超导磁场直拉法,这种方法结合了传统的CZ法拉晶技术与磁场控制技术,特别是利用超导磁体产生的强磁场来优化晶体生长过程。
在传统的CZ法拉晶过程中,熔融的硅被放置在一个坩埚中,然后一个籽晶被插入熔融硅的表面,并且缓慢地向上提起,同时旋转。熔融硅沿着籽晶的边缘结晶,形成一个单晶硅棒。然而,这个过程可能会产生一些缺陷,如热应力和掺杂剂的不均匀分布。
MCZ技术通过在坩埚周围施加磁场来解决这些问题。磁场的作用可以减少熔融硅中的对流,从而减少晶体生长过程中的热应力和掺杂剂的不均匀分布。这有助于提高晶体的整体质量和均匀性,减少晶体中的缺陷,如位错和微缺陷,大大提升硅棒加工成的硅部件在刻蚀过程中的使用寿命。
新美光董事长夏秋良先生透露,“现在新美光生产的半导体级别单晶硅棒纯度可达‘11个9’,即99.999999999%,含氧量低,杂质含量均匀,且没有微观缺陷,这点非常关键。”
新美光曾先后荣获“国家级专精特新小巨人、国家高新技术企业、江苏省双创人才、江苏省高新区潜在独角兽企业、苏州市瞪羚企业、独角兽培育企业、苏州工业园区科技领军人才”等荣誉称号,并参与了2个国家级重大研发专项课题。
夏秋良透露,随着新产品验证速度加快、技术能力更加成熟、与客户联合研发的推进,以及子公司苏州冠韵威电子有限公司在半导体设备用高端电气系统和模组产品的不断突破,新美光的营收将实现裂变式增长。
企业未来发展趋势
新美光超大尺寸单晶硅棒自主生长技术的突破,解决了我国在半导体材料领域被国外“卡脖子”的情况,实现了原材料自主可控。不仅如此,新美光自主生长的单晶硅棒还远销海外,成为国外终端客户认证通过的刻蚀用硅部件的原材料。
目前,新美光以苏州为总部,在浙江海宁设有子公司,研究开发更先进的碳化硅部件技术。在马来西亚槟城设有工厂,布局东南亚及其他海外客户。在韩国设有分公司,负责单晶硅材料和碳化硅材料的海外市场销售。
未来,新美光将持续投入重资研发,努力打造成为集成电路核心零部件的平台型企业。
陕投资本投资情况
2019年12月,陕投资本成长基金所属陕西君铭创星基金完成向新美光投资,投资资金用于研发设备更新及新厂区建设。